高温真空炉分子泵组的操作步骤

高温真空炉分子泵组的操作步骤 　　在高温真空炉开始加热之前，检查水道中的阀门能否打开，水流是否顺畅。在热炉启动前做好准备后，打开手动阀，可以按总功率控制面板上的“机械泵打开“按钮启动机械泵，当“机械泵打开“按钮显示指示灯打开时。打开真空表，等待真空表的低真空部分显示＜10Pa（如果有侧泵送，打开手动侧泵阀，由侧泵送管路到系统预真空。关闭手动侧泵送＜真空显示为 10Pa。打开主阀。真空显示< < 10Pa)打开分子泵电源，按下分子泵控制电源面板上的“启动”按钮，启动分子泵。等待5至7分钟后，分子泵达到正常速度，此时应达到真空允许启动真空表电离调节，按真空计控制功率电离部分的“上电离“按钮，观察真空计高真空值。